코닉시스템, 300㎜용 CTC S/W 개발, 출시

반도체 제조용 장비 및 제어기 전문업체인 코닉시스템(대표 정기로 http://www.kornic.co.kr)은 300㎜ 웨이퍼 공정용 CTC(Cluster Tool Controller) SW 솔루션인 「EasyCluster2.0」을 순수 국내기술로 개발, 출시한다고 17일 밝혔다.

CTC는 화학증착(CVD), 물리기상증착(PVD), 식각장치(에처) 등 반도체 제조 앞공정장비를 클러스터 툴의 형태로 제작할 때 필수적인 핵심기술이다.

산업자원부의 「시스템 IC 2010사업」의 일환으로 개발된 이번 솔루션은 윈도NT를 운용체계로 하면서 산업용 PC를 기본 플랫폼으로 사용하고 다이렉트 I/O와 「DeviceNet」을 지원한다.

아울러 자체 개발한 GUI(Graphic User Interface)용 그래픽 엔진과 공정자동화(FA: Fab Automation)를 위한 SECS/GEM 통신기능도 내장, SW에 대한 추가 라이선스 부담이 없다.

「EasyCluster」는 현재 국내 장비업체가 개발한 300㎜공정용 애싱 공정장치에 탑재돼 반도체 소자업체에서 평가를 진행중이다.

정기로 사장은 『국내 반도체 장비 제조업체들이 외국업체에 의존하지 않고도 경쟁력 있는 장비를 개발할 수 있도록 이번 SW를 다양한 형태로 제공하고 정기적인 교육프로그램도 계획하고 있다』며 『장비업체가 원할 경우 턴키방식의 개발용역도 제공하겠다』고 말했다.

<온기홍기자 khohnh@etnews.co.kr>