케이맥, 성능 대폭 개선된 비접촉식 박막두께 측정기개발

고분자 박막두께 측정에서 탁월한 성능을 발휘하는 비접촉식 박막두께 측정기가 국내 벤처기업에 의해 개발됐다.

케이맥(대표 이중환)은 올 초부터 생산중이던 비접촉식 박막두께 측정기의 성능을 대폭 개선한 「비주얼 식(Visual Thick) 2000디럭스」를 개발했다고 17일 밝혔다.

이번에 개발한 비접촉식 박막두께 측정기는 기존 측정장비인 나노스펙(NanoSpec)이나 일립소미터(Elipsometer)가 가지고 있던 거친 표면상에 형성된 박막두께를 측정하지 못하는 문제를 극복한 제품이다.

특히 기존 반도체 박막(SiO₂ 등)뿐만 아니라 포토레지스터 등의 고분자 박막두께 측정에서도 탁월한 성능을 발휘하고 가격은 대폭 낮춘 획기적 제품이다.

이에 따라 케이맥은 본격적인 인라인용 박막두께 측정기기 생산, 내수는 물론 현재 반도체 강국으로 떠오른 대만 등으로 수출할 계획이다.

이중환 사장은 『두께 측정장비부문에 있어 연간 30억원 이상의 수입대체 효과가 가능할 것』이라며 내수보다도 외국수출에 더 많은 신경을 쓰고 있다』고 말했다.

<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>