실리콘테크, 반도체 웨이퍼 검사자동화장비 웨이퍼뷰(Waferview) 210 개발

반도체장비 제조업체인 실리콘테크(대표 우상엽 http://www.stl.co.kr)는 비전 SW 개발업체인 ISOA테크와 기술제휴, 웨이퍼 공정불량 검사장비(모델명 웨이퍼뷰 210)를 개발했다고 4일 밝혔다.

이번에 개발한 「웨이퍼뷰 210」은 파티클(particle)·긁힘·탈색·패턴미싱(pattern missing) 등 현상과정 후 웨이퍼에 나타나는 각종 미세결함들을 시간당 120장(1wafer / 0.5sec)의 속도로 검사하며, 불량웨이퍼 발견율은 90∼95%다.

이 회사는 최근 대당 가격이 6억∼7억원 가량인 웨이퍼뷰 210의 양산적합성 평가를 성공적으로 마쳤으며 이달부터 반도체 제조업체들을 대상으로 공급에 나서기로 했다.

우상엽 사장은 『이번 「웨이퍼뷰 210」 개발로 웨이퍼의 결함을 실시간으로 찾아 유형별로 분류, 공정을 재조정함으로써 반도체 생산공정에서 동일한 결함의 발생을 방지할 수 있다』면서 『국내 반도체소자 생산업체들은 이번 웨이퍼뷰 210을 이용할 경우 2% 정도의 수율(yield) 향상으로 한 라인에서 연간 100억원의 추가이익을 낼 수 있을 것으로 기대된다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>