블루코드테크놀로지, 반도체 시스템 공정용 장비 RMS-Ⅱ 개발

반도체 포토 공정에 사용되는 레티클(반도체 소자회로가 인쇄된 유리 원판)을 효율적으로 보관하고 관리할 수 있는 시스템 장비가 국내 벤처기업에 의해 개발됐다.

블루코드테크놀로지(대표 임채환 http://www.bluecord.co.kr)는 반도체 제조 공정에 필수적인 레티클의 조립공정 과정과 위치 등을 한 눈에 파악할 수 있는 레티클 관리 시스템인 「RMS-Ⅱ」를 개발, 다음달부터 본격 시판에 들어간다고 25일 밝혔다.

이 제품은 기존 제품과 달리 네트워크 기능을 추가, 공정중이거나 대기중인 레티클의 현 상태를 온라인상으로 제어할 수 있으며 방대한 양의 레티클의 DB를 효율적으로 관리할 수 있다.

또 수요자가 원하는 레티클을 즉시 찾아 사용할 수 있도록 하는 서치기능을 갖고 있으며 시스템 안에 질소 가스를 주입, 레티클에 각종 이물질이 흡착하는 것을 방지하는 기능을 갖췄다.

가격면에서도 시스템당 6000만∼3억여원에 달하는 일본 제품의 3분의 2수준으로 가격 경쟁력에서 우위를 점할 것으로 보인다.

김병영 사장은 『이미 이같은 기술력의 우수성을 인정받아 이달중으로 현대전자 청주공장에 공급 계약을 체결해 놓은 상태』라며 『다음달 중으로 300㎜ 웨이퍼용 장비를 선보일 예정』이라고 말했다.

<대전=신선미기자 smshin@etnews.co.kr>