화인반도체기술, 람다피지크와 엑시머레이저 공급장치 판매 제휴

반도체 제조용 펠리클(pellicle : 포토마스크 보호용 박막) 및 장비업체인 화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 최근 독일의 람다피지크(Lambda Physik)와 레이저 소스의 판매와 기술개발을 위한 전략적 제휴를 맺었다고 6일 밝혔다.

이에 따라 그동안 미국계 사이머가 선점해온 국내 엑시머레이저 공급장치 시장경쟁 구도에 변화가 일어날 것으로 보인다.

화인반도체기술은 이번 제휴로 람다피지크의 불화크립톤(KrF)·불화아르곤(ArF) 등 레이저 소스를 국내 반도체 제조업체에 독점판매하게 된다. 또한 화인반도체기술은 장비의 데모 랩(demo lab)과 교육시설을 9월에 신규증설하는 기흥공장에 설치, 운용할 에정이다.

장명식 사장은 『이번 제휴를 계기로 레이저 소스에 대한 국내 자체 기술력을 확보해 앞으로 국내에서 장치를 생산하는 방안도 협의 중』이며 『차세대 193㎚ 파장급 ArF 펠리클 및 157㎚ 펠리클의 개발에도 크게 도움이 될 것으로 기대된다』고 말했다.

용어설명 : 엑시머레이저는 설계된 회로를 웨이퍼에 투사해 그려 넣는 초자외선(DUV)용 스테퍼(stepper)와 스캐너(scanner)에 장착돼 사용되는 광원이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>