일 니콘, 세계 최초 대형LCD용 노광장치 개발

일본 니콘(http://www.nikkon.co.jp)은 30인치 대형화면에까지 대응할 수 있는 액정표시장치(LCD)용 노광장치를 개발, 오는 7월부터 판매한다고 「일본경제신문」이 보도했다.

이번에 개발한 노광장치는 5개의 투영렌즈를 사용한 「주사노광·스텝이동」의 노광기술을 이용해 생산성을 기존의 1.7배 이상 늘릴 수 있는 장치다. 30인치 대형 LCD화면의 노광을 실현한 것은 니콘이 세계 최초다.

이 장치는 가로 95㎝, 세로 80㎝의 대형 유리기판에 대응하며 이 결과 한장의 유리기판으로부터 15∼18인치 패널을 최대 6장, 22인치 패널을 최대 4장씩 각각 생산할 수 있다. 또 30인치 이상 대형 디스플레이의 제조에도 적용된다. <명승욱기자 swmay@etnews.co.kr>