IBM, 차세대반도체 생산시스템 개발

미국 IBM(http://www.ibm.com)이 전자빔을 이용한 차세대 반도체 생산 시스템을 개발했다.

「뉴욕타임스」 등에 따르면 IBM은 이미 이 시스템의 개발을 마쳤으며 다음주 캘리포니아 샌타클래라에서 열리는 반도체 회의에서 공식 발표할 예정이다.

「프리베일」로 이름붙여진 이 시스템은 반도체 생산과정에서 빛의 파장을 이용한 지금까지의 방식과는 달리 전자빔을 사용하는 것으로 알려졌다.

<명승욱기자 swmay@etnews.co.kr>