<세미콘코리아 2000 특집>국내외 반도체 장비·재료 기술·시장 동향 한눈에 파악

「21세기 반도체 관련 핵심장비와 재료 산업을 한눈에.」

국내는 물론 세계 첨단 반도체장비와 재료의 최신 기술동향을 한자리에서 들여다볼 수 있는 「세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2000」 전시회가 15일부터 17일까지 서울 삼성동 코엑스(COEX) 대서양관에서 개최된다.

세계 반도체장비 및 재료협회(SEMI) 주최로 올해 13회째를 맞는 이번 「세미콘코리아 2000」 전시회는 한국을 비롯한 미국·일본·대만·독일·네덜란드·영국 등 전세계 10여개국 400여 업체가 참가, 각종 첨단 장비와 재료를 선보이고 치열한 기술·제품 홍보전을 펼칠 예정이다.

21세기 들어 처음 맞는 이번 세미콘코리아의 전시 규모는 총 1000개 부스로 지난해(747개 부스)보다 30% 이상 크게 늘었다.

전시회 기간에는 세계 각국의 전문가들이 참석한 가운데 리소그래피와 에칭, 조립, 소자, 3백㎜ 제조, 테스트, 패키징 기술 등 새로운 반도체 소자와 장비, 그리고 재료기술에 대해 각종 세미나가 열려 관심을 모으게 된다.

특히 이번 세미콘코리아 2000에 국내외 업체와 전문가들의 참여와 관심도가 높은 데는 세계 반도체 장비·재료시장이 불황의 터널을 뚫고 향후 몇년 동안 호황을 예고하고 있기 때문. 올해 세계 반도체산업은 2002년까지 연간 약 20%의 증가로 99년의 1471억달러에서 올해 약 1800억달러로 증가될 것으로 예측된다.

메모리를 근간으로 하는 우리나라의 반도체 산업도 15∼20% 이상의 성장이 기대돼 앞으로의 전망이 매우 밝다고 할 수 있다. 올해 삼성과 현대를 중심으로 30억달러 이상의 투자가 예상돼 생산측면에서도 이를 뒷받침하고 있다. 국내 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 업체의 투자규모도 지난해 1조3800억원에 비해 46% 증가한 2조원을 웃돌 전망이다.

특히 지난 몇년 동안 고전을 면치 못했던 세계 반도체장비 시장도 올해는 지난해의 240억달러보다 20.8% 신장한 290억달러로 확대되고 오는 2002년에는 그 규모가 430억달러에 달할 것으로 전망된다.

반도체의 고집적화와 300㎜ 웨이퍼의 실용화에 따라 각 반도체 업체들의 신규 투자가 잇따르면서 국내 반도체장비 시장도 활기를 되찾고 있다.

이번 세미콘코리아에 참가하는 업체들의 개별 출품동향을 보면, 3백㎜ 웨이퍼 관련장비와 재료 등 각종 차세대 장비들이 일제히 선보일 전망이다.

먼저 전공정 분야에서는 세계 최대 반도체장비업체인 어플라이드머티리얼즈코리아(AMK)는 이번 전시회에 가장 많은 총 32개 부스로 참가, 0.18미크론 이하 공정을 위한 배선, 트랜지스터/게이트, 공정진단 및 제어 장비들을 대거 전시해 선두업체의 위상을 과시할 계획이다.

차세대 반도체 칩으로 일컫는 구리칩 제조 공정용 장비들도 이번 전시기간에 시선을 모을 전망이다. 노벨러스·세미툴·얼박은 28개 부스로 참가해 구리를 물리적인 방법으로 증착하는 PVD장비를 출품한다.

반도체 노광장비인 스테퍼 분야 또한 이번 전시회를 찾는 관람객들의 관심을 끌 만하다. 세계 DUV용 스테퍼 시장에서 급부상하고 있는 ASML·SVG 및 니콘, 캐논 등 세계적인 스테퍼 전문업체들은 초미세회로 공정에 대응하기 위해 스캐닝 방식의 리소그래피 장비와 3백㎜ 웨이퍼용 스캐닝시스템들을 출품해 치열한 시장경쟁을 예고하고 있다.

웨이퍼 세척장비인 웨트 스테이션(Wet Station) 분야에서는 하나의 세척용기로 전체 웨이퍼의 세정공정을 처리할 수 있도록 한 단일 배스방식의 웨트스테이션 장비가 본격 선보일 전망이다.

후공정장비 분야에서는 고속성장이 예상되는 볼그리드어레이(BGA) 패키지 관련제품과 각종 검사기능을 인 라인(In-Line)화한 통합 조립장비들을 대거 출품해 관람객들의 발길을 붙잡을 것으로 보인다.

이번 전시회의 두드러진 특징 가운데 하나는 그동안 장비 국산화에 심혈을 기울여온 국내 반도체 장비 전문제조업체들의 장비 출품이 그 어느때보다 활발하다는 점이다.

국내 최고 전공정 장비업체인 주성엔지니어링은 300㎜ UHV SEG(고진공 선택적 에피 박막 성장) 공정장치를 선보일 계획이며, IPS도 건식용 에처를, 아펙스가 국산화한 유기금속화학증착(MOCVD) 장비를 내놓아 국내외 참관객들의 발길을 붙잡을 것으로 보인다.

케이씨텍은 가스 캐비닛·실리콘캐소드 등을 내놓으며 반도체 클린룸 전문업체인 신성이엔지는 300㎜ 웨이퍼에 대응하는 스토커시스템을 비롯해 로더·웨이퍼 소터를, 실리콘테크는 웨이퍼 자동테스트 시스템, 서울일렉트론은 2중관 방식의 종형확산로, 이오테크닉스는 레이저 디플래서(Laser Deflasher), 다산씨앤드아이는 초정밀 항온항습조절기(THC)를 각각 중점적으로 선보일 계획이다. 아토·한양기공 등은 제품경쟁력을 확보하고 있는 웨트 스테이션을 내놓는다.

특히 지구온난화의 주범으로 반도체 산화물 에칭공정에서 발생하는 과불화화합물(PFC) 가스를 분해, 무해한 가스로 바꾸는 스크러버 분야에서는 올해초 국내 처음으로 개발한 케이씨텍, 태양테크 등이 이번 전시회에서 관련 장비를 처음 내놓아 이목을 모을 전망이다.

한편 반도체 재료 분야에서는 LG마이크론·크린크리에티브·클라리언트코리아·동진쎄미켐·다우코닝 등의 업체들이 제품을 출품하고 있다.

이들 반도체 소재 업체는 리드프레임 등 반도체 부품에서부터 현상액, 세정액, 스핀 온 글라스(SOG) 등 화학재료까지 각기 다른 분야에서 다양한 제품을 선보인다.

특히 반도체 분야의 급속한 기술변화를 반영하듯 미세공정을 지원하는 다양한 화학제품들이 출품됐다. 클라리언트코리아는 0.13㎛ 해상도를 구현할 수 있는 불화크립톤(KrF)용 포토레지스트와 0.10㎛ 해상도를 지원하는 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 전시 중이고 동진쎄미켐은 DUV용 256M D램 이상의 차세대 반도체칩에 사용되는 포토레지스트 가운데 ArF 레지스트를 선보인다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>