반도체 화학가스 세정장비 부문의 시장 선도업체. 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 청정도와 고순도를 유지하기 위한 화학가스 세척공정 중 가스캐비닛·가스공급시스템 등이 주요 제품. 반도체 화학재료, 퓨리파이어 등 신제품 매출증가 기대로 수익구조 다변화 효과. 99년 매출액은 425억원.
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