<화요특집-KOSE 99> 주요업체 출품작.. 한택 "마이크로BGA 필름 검사기"

　반도체부품 검사장비 전문업체인 한택(대표 한종훈)이 내놓은 제품은 마이크로BGA 필름 검사기다.

　이 장비는 반도체 소재의 상·하부 동시 검사가 가능하며 검사기능을 강화함으로써 제품당 처리속도를 1초 이내로 줄이고 생산성을 크게 향상시킨 것이 특징이다.

　특히 이 장비는 정밀제품을 검사 대상으로 하기 때문에 진동방지 설계가 요구되고 ±25미크론 이내의 고정도 이송을 달성해 검사의 신뢰도가 높다. 신뢰성은 고성능 디지털 카메라를 이용하므로 패턴 및 외관검사에서 각각 5미크론, 10미크론급이다.

　이와 함께 객체지향적인 프로그램 설계로 다른 제품들에 비해 대응능력이 우수하기 때문에 다양한 크기의 릴형 탭테이프 방식 제품에 모두 대응가능하다.

　한택은 국내 반도체관련 업체에 이 제품을 공급하고 있으며 현재 일본 및 동남아의 사용업체들로부터 활발한 문의를 받고 있어 수출에 대한 기대가 높다.

　한택은 또 반도체 웨이퍼 이송장비인 웨이퍼소터 신제품도 전시한다.

　이 장비는 국내외 반도체업체들에 공급한 기존 웨이퍼소터를 고밀도 추세에 맞춰 개량한 새로운 모델의 제품으로 표준기계 인터페이스시스템(SMIF)으로 불리는 국부 청정관리시스템을 도입, 반도체라인의 청정도 관리에 따른 운용비용을 절감할 수 있게 할 뿐 아니라 상호오염방지에 탁월한 성능을 발휘하는 게 특징이다.

　한택은 SMI 타입 소터는 반도체업체들의 요구가 십분 반영된 제품이라고 밝혔다.