<화요특집-FPD 엑스포 99> 주요 장비업체 출품작.. 프로브 스테이션

평창하이테크 "프로브 스테이션"

　평창하이테크(대표 이억기)가 FPD 엑스포 99에 내놓은 제품은 프로브 유닛과 프로브 카드, 프로브 스테이션 등 세 종류의 검사장비다.

　프로브 유닛의 경우 완성된 TFT LCD 패널의 영상검사를 위해 데이터·게이트 라인의 전체 전극에 일괄적으로 접촉하기 위해 사용되는 것으로 블록의 세트업이 쉽고 모든 프로브 스테이션에 사용할 수 있다. 일반적인 테스터와 프로브 스테이션을 연결하는 기능이 있으며 고속의 리드타임과 고품질의 서비스를 제공함으로써 사용자의 경쟁력을 강화해주는 게 장점이다.

　파인피치는 50㎛, 프로브 외경은 120∼150㎛ 크기며 패드 크기는 31㎛, 가이드 필름의 두께는 120㎛ 정도로 모든 블록의 수리가 용이하다. 프로브 카드는 IC·LSI·VI 등을 측정할 수 있는 일반적인 테스터와 접속되며 최소 피치 48㎛ 레벨에서 동시에 32개의 디바이스에 접촉할 수 있게 한다.

　프로브 스테이션은 완성된 TFT LCD 패널의 최종검사를 위해 패턴 제너레이터에서 발생하는 신호를 데이터·게이트 라인의 모든 셀에 일괄적으로 구동시킴으로써 전 화소를 동시에 검사할 수 있도록 제작된 완전 자동화된 검사장비다.

　3∼33인치의 TFT LCD 패널을 검사할 수 있으며 9초당 1개의 패널 성능을 체크한다. 마이크로 프로세서 제어에 의한 터치스크린 방식으로 AGV/MGV 대응이 가능하다.