<화요특집-FPD 엑스포 99> 주요 장비업체 출품작.. 패널 프로세서

한국DNS "패널 프로세서"

　한국DNS(대표 박창현)가 출품한 제품은 스프레이식과 요동식 세정·현상·에칭시스템과 세정 프로세서, 대형 기판용 스피너 등 총 4종의 FPD 장비.

　「스프레이 프로세서」로 불리는 스프레이식 세정·현상·에칭시스템은 우수한 스루풋과 안정된 처리품질을 구비했으며 시스템 구성시 유연한 모듈구조를 채택, 각 처리내용에 최적의 라인을 자유롭게 구성할 수 있도록 설계됐다.

　요동식 세정·현상·에칭시스템은 모델명이 「패널 프로세서」로 기판의 요동, 스프레이와 급속 업플로 등을 프로세스에 맞춰 채택해 대형 글라스 기판을 고정밀도로 처리할 수 있는 게 특징이다. 에칭모듈에는 포인트마다 센서를 부착, 뛰어난 재현성 처리가 가능하고 처리 모듈간 기판 고속반송을 위해 시간단축화를 구현했다.

　세정 프로세서인 「TS­552/650G」는 FPD 원료 대 제품 비율을 대폭 향상시킨 정밀 세정장치로 경사반송법과 복합세정 방식을 채택, 2차 오염을 크게 줄였다. 새로운 세정방식으로 좁은 공간에도 불구하고 세정능력을 유지하며 처리부와 반송구동부를 분리 배치해 체임버내의 청정도를 유지할 수 있다.

　터치패널을 채택, 조작성을 대폭 향상시켰으며 유량·압력·반응속도·설정치 등 각종 데이터를 패널에 집중적으로 표시하는 기능을 갖고 있으며 순수 공기 사용량을 제어, 비용을 절감할 수 있게 했다.