업계, 전공정 반도체장비 개발 활기

　전공정 반도체 장비의 국내 개발 및 생산이 활기를 띠고 있다.

　30일 관련 업계에 따르면 에칭, 화학증착(CVD), 웨트스테이션 등과 같은 첨단 전공정 장비에 대한 중소 벤처업체들의 시장 도전이 최근 잇따르고 있는 가운데 주성엔지니어링·실리콘테크·한국DNS·피에스케이테크 등과 같은 기존 전공정 장비업체들의 제품 양산도 본격화하고 있다.

　이에 따라 전체 반도체장비 수요의 55% 이상을 차지하면서도 그동안 마땅한 국산 제품이 없어 거의 전량을 수입에 의존해 온 전공정 장비의 국산 대체 시기도 예상보다 1∼2년 앞당겨질 전망이다.

　이런 가운데 반도체 전공정용 핵심 장비인 CVD의 경우 이미 주성엔지니어링이 40대 이상의 장비를 생산, 국내외 소자 업체에 공급한데 이어 아펙스·선익·지니텍·연우엔지니어링 등의 업체들도 관련 장비의 개발 및 생산을 추진하고 있다.

　웨이퍼상의 각종 화학막들을 식각하는 장비인 에칭은 IPS가 최근 개최된 세미콘 전시회를 통해 자체 개발한 건식 에칭 장비인 「버팔로 8000XP」를 선보인 데 이어 포토마스크 업체인 피케이도 이 시장 진출을 준비하고 있다.

　또한 반도체 노광 공정용 핵심설비인 트랙 장비의 경우 한국DNS와 실리콘테크가 차세대 DUV공정에까지 적용 가능한 트랙 장비 및 관련 모듈의 양산에 나서고 있는 가운데 최근 아펙스도 독일 페어차일드테크놀로지사와 제휴, 트랙 장비의 국내 생산을 추진하고 있다.

　이와 함께 한국DNS와 케이씨텍이 웨이퍼 세척에 사용되는 웨트스테이션 장비를 국내 생산하고 있으며 피에스케이테크도 포토레지스트 제거용 애셔 장비를 개발, 이미 상당 물량 이상을 국산으로 대체하는 데 성공했다.

　이밖에 에칭·CVD·스퍼터 등 첨단 전공정 장비에 부착되는 핵심부품인 클러스터 툴 컨트롤러(CTC) 분야에서도 세종정보통신과 코닉시스템 등의 업체들이 관련 시스템 개발 및 적용을 서두르고 있다.

　장비 업계의 한 관계자는 『이처럼 전공정 반도체장비에 대한 국내업체들의 투자 및 개발 열기가 갈수록 뜨거워지고 있는 것은 전체 반도체장비 시장에서 후공정 장비가 차지하는 비중은 점차 줄어들고 있는데 반해 기술적 또는 경제적 파급 효과가 큰 전공정 장비 부문 수요는 갈수록 확대되고 있기 때문』이라고 분석했다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>