반도체용 로봇 생산 활기.. 각종 생산라인 공정자동화로 수요 급증

　반도체를 비롯한 각종 첨단 산업용 로봇 및 핸들링 시스템의 국내생산이 활기를 띠고 있다.

　25일 관련업계에 따르면 삼성전자 등 대기업과 평창하이테크산업·신성이엔지·미래엔지니어링 등 중소 장비업체들은 최근 반도체 및 LCD(Liquid Crystal Display) 제조라인용 로봇 및 핸들링 장치를 잇달아 개발, 본격적인 양산에 나서고 있다.

　국내 장비업체들의 이러한 움직임은 웨이퍼 및 LCD 유리기판의 크기가 점차 대형화하면서 그동안 수작업으로 이루어지던 각종 공정이 완전 자동화함에 따라 제조공정 자동화에 필수적인 로봇 및 핸들링 장치에 대한 수요도 크게 증가하고 있기 때문으로 풀이된다.

　삼성전자(대표 윤종용)는 최근 웨이퍼 및 LCD 기판 이송용 로봇과 트랙 장비용 핸들링 장치를 개발, 자사 생산라인에 확대 도입한 데 이어 미국의 산업용 로봇 생산업체인 어댑트테크놀로지사에 연간 300만 달러 어치씩 수출키로 하는 등 외부 공급도 적극 추진하고 있다.

　또한 이 회사는 올해 반도체 자동화 분야 유력업체인 미국 브룩스오토메이션사와 합작으로 「브룩스 매뉴팩처링 아시아(BMA:Brooks Manufacturing Asia)」를 설립하고 반도체 전공정용 핵심 로봇 설비인 「클러스터 툴」 장치의 국내 생산도 추진중이다.

　국내 최대 클린룸 설비업체인 신성이엔지(대표 이완근)는 자동 카세트 방식의 웨이퍼 이송용 핸들링 장치(Sorter)와 차세대 국부 클린룸(SMIF) 설비용 로더 및 언로더를 개발, 최근 출시한 데 이어 미국의 반도체 공정 자동화 장치 전문 생산업체인 PRI사와 공동으로 차세대 평면패널디스플레이(FPD)용 스토커(Stocker)도 개발중이다.

　프로브시스템 업체인 평창하이테크산업(대표 이억기)도 일본의 자동화 장치 전문 생산업체인 다이헨사와 기술제휴, 반도체 및 LCD용 각종 로봇 장치의 개발 및 국내 생산을 추진하고 있으며, 반도체 장비업체인 미래엔지니어링(대표 김종인)은 고분자 섬유강화 복합재료를 사용한 초대형 LCD 유리기판용 로봇 팔을 개발했다.

　또한 반도체 공정 자동화용 컨트롤러 및 소프트웨어 분야에서도 세종정보통신(대표 윤예석)이 자바언어를 기반으로 한 반도체 장비용 CTC(Cluster Tool Controller) 시스템을 출시했으며, 코닉시스템(대표 정기로)은 반도체 로봇용 제어시스템과 실시간 멀티태스킹 공정제어기술을 개발했다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>