<특집-세미콘웨스트 99> 국내외 주요업체 출품작.. WCS2004

신성이엔지 "WCS2004"

　국내 최대 클린룸 설비업체인 신성이엔지는 최신 개발한 자동 카세트 방식의 웨이퍼 이송장치(Sorter) 「WCS2004」와 차세대 국부 클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템용 각종 장비들을 선보였다.

　웨이퍼 자동이송장치 WCS2004는 웨이퍼 일관가공(FAB) 공정 가운데 웨이퍼의 손상을 최소화하기 위해 특정 카세트에서 임의의 카세트로 자동이송, 정렬시켜 주는 일종의 핸들링 머신이다.

　8인치 카세트용 4개 포트를 보유한 이 제품은 광문자(OCR) 인식을 통한 ID판독과 윈도 운용체계의 쉬운 인터페이스를 구현한 것이 특징이다.

　또한 SMIF 시스템은 노광 및 에칭 등 초청정 환경이 요구되는 일부 공간만을 클래스1 이하의 초청정 상태로 유지함으로써 전체 클린룸 설비의 효율을 극대화하는 첨단 설비들로 기존 외산제품에 비해 소음 및 진동이 적고 정전기 방지 및 풍속 균일도가 우수한 것이 특징이다.

　이중 차세대 SMIF 시스템에 들어갈 초소형 클린룸 설비(Mini Environment) 가운데 하나인 「SSL2000」은 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)를 공정 장비로 이동시키는 일종의 로더 및 언로더 장치다.