<특집-세미콘웨스트 99> 국내외 주요업체 출품작.. 스펙트럼

세미툴 "스펙트럼"

　구리 장비 시장의 새로운 강자로 부상하고 있는 미국의 세미툴은 이번 전시회에 새로운 개념의 구리 도금장비인 「LT­210c」와 구리 공정용 일괄 웨이퍼 세정장비 「스펙트럼(Spectrum)」을 출품했다.

　이번에 선보인 양산용 구리도금장비 LT­210c는 구리칩 제조공정에서 구리 배선(Interconnect)용으로 사용되는 장비로 웨이퍼의 자동 로딩 및 언로딩이 가능하고 고 균일성, 저 저항률(Low Resistivity), 고 전자이동저항(High Electromigration Resistance) 등의 장점을 지녔다.

　또한 자체 개발한 세정용 체임버를 장착, 도금막에 전혀 손상을 주지 않고도 웨이퍼 후면과 가장자리의 구리 물질을 완벽히 제거할 수 있으며 시간당 70장 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있다.

　이와 함께 출품된 차세대 웨이퍼 세정장비인 스펙트럼은 자동 기판이송기능과 단일 배스 구조를 채택, 전체 장비 크기가 기존 제품의 3분의 1 수준에 불과한 구리칩 양산용 일괄 처리 장비로 52장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있다.

　세미툴은 또한 10개의 체임버로 구성된 단일기판(매엽식) 세정장치인 「Millennium」과 회전 웨이퍼 건조기(Spin Dryer) 「SRD」 장비도 함께 출품했다.