日돗판인쇄, 16GD램용 포토마스크 개발착수

　일본 돗판인쇄가 차세대 메모리인 16GD램용 포토마스크 개발에 착수했다고 「일본경제신문」이 보도했다.

　이에 따르면 돗판인쇄는 현재 회로선폭 0.13㎛의 미세가공을 할 수 있는 포토마스크의 개발을 추진하고 있으나 최근 다이닛폰인쇄가 히타치제작소로부터 포토마스크 사업을 인수하는 등 경쟁업체가 사업강화에 나섬에 따라 종합연구소 안에 새로운 고정밀 클린룸을 건설하고 0.10㎛급의 미세가공을 가능케 하는 포토마스크의 실용화에 나서는 등 이 사업에 대한 투자에 박차를 가하고 있다.

　돗판인쇄는 1년 이내에 16GD램용 포토마스크의 시제품을 생산해 오는 2000년대 전반에는 실용화할 계획이다.

　돗판인쇄는 이를 위해 2000년 3월까지(1999년 4월∼2000년 3월) 750억엔의 설비투자를 계획하고 있다.

<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>