삼성전자, 반도체 핵심공정.소재 기술 일본에 수출

　지난해 반도체의 본고장인 미국과 일본에 신개념 반도체 웨이퍼 가공기술을 수출했던 삼성전자(대표 윤종용)가 이번에는 반도체 부문의 핵심 공정 및 소재 기술을 일본에 수출한다.

　20일 삼성전자는 일본의 반도체 소자 및 재료업체와 웨이퍼 검사장비 기술 등 공정 및 재료 기술을 오는 2001년까지 1000만 달러의 로열티를 받고 수출하는 내용의 계약을 체결했다고 밝혔다.

　이번 계약으로 삼성전자는 △히타치사에 비파괴 검사를 이용해 반도체 품질 검사를 획기적으로 개선할 수 있는 웨이퍼 검사장비 기술 △스미토모금속에 256M 및 1GD램 등 고집적 반도체 제조의 핵심 공정인 초미세 에칭작업의 핵심 기술 △스미토모화학에 반도체 제품 수율에 큰 영향을 미치는 「PR스트리퍼」와 관련된 기술을 제공하게 된다.

　세계적으로 반도체 소자업체가 장비 및 소재 기술 분야까지 원천 기술을 수출하는 것은 이례적인 일이다.

　이에 따라 삼성전자는 반도체 소자 분야뿐만 아니라 장비 및 재료 부문에 이르는 반도체 전부문의 핵심 기술을 보유한 종합 반도체업체로 부상할 전망이다.

　이와 관련, 삼성전자는 스미토모화학에 수출한 PR스트리퍼 기술 개발의 주역인 박동진 대리에게 2억원이라는 사상 유례없는 파격적인 인센티브를 지급하고 웨이퍼 공정기술 개발 담당부서에 1억5000만원의 인센티브를 지급하는 등 총 5개 부서 개발 담당자들에게 5억원의 포상금을 지급했다.

<최승철기자 scchoi@etnews.co.kr>