메닉스, LCD 박막특성 측정장치 개발

　생산장비 전문업체인 메닉스(대표 손승철)는 산업자원부의 공업기반기술개발과제로 지난 96년부터 3년 동안 정부지원자금 8억8000만원을 포함해 모두 13억4000만원의 개발비를 투입, 「LCD 박막특성 측정장치」를 개발하는 데 성공했다고 10일 밝혔다.

　LCD생산업체들은 그동안 전량 일본과 미국 업체들의 LCD 박막특성 측정장치를 수입, 사용해왔는데 이번에 국내에서 개발됨으로써 수입대체효과와 함께 제품생산성을 향상시킬 수 있을 것으로 기대하고 있다.

　이번에 개발된 측정장치는 비접촉방식의 면저항측정기로 LCD평판의 면저항과 두께 등을 측정하여 LCD평판표면의 균일도를 측정하는 TFT LCD 생산라인의 기본장비인데 비접촉식 측정범위는 0.1mΩ(밀리옴)에서 1000Ω으로 오차범위는 1.0%이다.

　아울러 이 제품은 기존의 접촉식에 비해 샘플손상 없이 전수검사가 가능하며 제조완료 후에 파악가능한 전기적 특성을 미리 점검할 수 있는 것이 특징이다.

　특히 이 회사는 윈도 95/98 환경에서 편리한 사용자 인터페이스와 카세트내 유리를 자동인식한 후 자동측정이 가능하도록 운용소프트웨어를 자체 개발했다.

　이번에 개발된 측정장치는 LCD 이외에 PDP분야에서도 활용할 수 있을 뿐만 아니라 필름·도금 등과 같은 여러 분야의 도전층박막을 손상 없이 측정하는 수요를 창출할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

　이 회사는 이번 개발과정에서 얻은 관련기술 2건을 국내 특허출원한 데 이어 앞으로 이 제품의 상용화에 나서 국내 LCD생산업체들에 공급하고 대만 등 해외수출을 추진할 방침이다.

<원철린기자 crwon@etnews.co.kr>