융성무역, 오존수 공급장치 공급

　전자 소재 전문 공급업체인 융성무역(대표 배장웅)은 반도체 및 LCD 세정공정에 사용되는 오존수 공급장치 「PUREZONE」을 공급한다고 13일 밝혔다.

　일본의 전극전문 제조회사인 Permelec사가 개발한 이 장비는 반도체 및 LCD 표면의 각종 불순물 제거에 사용되는 오존수를 공급하는 장비로 초순수(DI Water)를 전기분해하는 방식을 채택했다.

　또한 이 장비는 가스 배기량이 적어 처리부하가 작으며 분해촉매 및 각종 탐지센서를 갖췄다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>