반도체 장비 공급업체인 사이머코리아(대표 신중호)는 0.18미크론 이하 미세 반도체 공정에까지 적용할 수 있는 248㎚ 파장의 반도체 레이저 공급장치 「ELS 6000」 장비를 이달부터 국내에 공급한다고 10일 밝혔다.
이번에 출시된 제품은 차세대 노광설비인 DUV용 스테퍼에 부착돼 2000㎐급 불화크립톤(KrF) 액시머 레이저를 발생시키는 첨단 장비로 생산성 및 안정성이 기존 제품보다 30% 가량 향상됐다.
또한 모듈화된 장비 구조로 제품 운용 및 유지 보수가 간편하며 고효율 공정 체임버를 장착, 작업 속도의 향상은 물론 제품 수명도 극대화했다.
미국 사이머는 전세계 반도체 노광용 레이저 소스시장의 80% 이상을 점유하고 있는 업체로 지난 97년 국내 반도체 장비업체인 디아이와 합작으로 사이머코리아를 설립하고 적극적인 한국시장 개척에 나서고 있다.
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>
많이 본 뉴스
-
1
테슬라, 중국산 '뉴 모델 Y' 2분기 韓 출시…1200만원 가격 인상
-
2
필옵틱스, 유리기판 '싱귤레이션' 장비 1호기 출하
-
3
'과기정통AI부' 설립, 부총리급 부처 격상 추진된다
-
4
'전고체 시동' 엠플러스, LG엔솔에 패키징 장비 공급
-
5
모바일 주민등록증 전국 발급 개시…디지털 신분증 시대 도약
-
6
은행 성과급 잔치 이유있네...작년 은행 순이익 22.4조 '역대 최대'
-
7
두산에너빌리티, 사우디서 또 잭팟... 3월에만 3조원 수주
-
8
구형 갤럭시도 삼성 '개인비서' 쓴다…내달부터 원UI 7 정식 배포
-
9
공공·민간 가리지 않고 사이버공격 기승…'디도스'·'크리덴셜 스터핑' 주의
-
10
MBK, '골칫거리' 홈플러스 4조 리스부채…법정관리로 탕감 노렸나
브랜드 뉴스룸
×