사이머코리아, DUV용 레이저 공급장치 출시

　반도체 장비 공급업체인 사이머코리아(대표 신중호)는 0.18미크론 이하 미세 반도체 공정에까지 적용할 수 있는 248㎚ 파장의 반도체 레이저 공급장치 「ELS 6000」 장비를 이달부터 국내에 공급한다고 10일 밝혔다.

　이번에 출시된 제품은 차세대 노광설비인 DUV용 스테퍼에 부착돼 2000㎐급 불화크립톤(KrF) 액시머 레이저를 발생시키는 첨단 장비로 생산성 및 안정성이 기존 제품보다 30% 가량 향상됐다.

　또한 모듈화된 장비 구조로 제품 운용 및 유지 보수가 간편하며 고효율 공정 체임버를 장착, 작업 속도의 향상은 물론 제품 수명도 극대화했다.

　미국 사이머는 전세계 반도체 노광용 레이저 소스시장의 80% 이상을 점유하고 있는 업체로 지난 97년 국내 반도체 장비업체인 디아이와 합작으로 사이머코리아를 설립하고 적극적인 한국시장 개척에 나서고 있다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>