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한국램리서치, 삼성전자 반도체장비 납품

　반도체 장비 공급업체인 한국램리서치(대표 김동성)는 최근 삼성전자로부터 각종 에칭 시스템 및 세정 장비를 대량으로 수주, 이달까지 공급키로 했다고 3일 밝혔다.

　이번에 공급되는 장비는 고밀도 금속 에칭 시스템인 「TCP 9600PTX」와 폴리실리콘 식각 장비 「TCP 9400PTX」, 그리고 산화물 에칭 장비 「레인보우」 및 화학·기계적연마(CMP)용 세정 장비 「시너지 인테그라」 등이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>

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