<특집-세미콘코리아 99> 주요업체 출품작.. 슈테아그 "고속 열처리장비"

　독일 장비업체인 슈테아그는 반도체 제조공정 중 이온 주입후 어닐링(Annealing)작업 및 각종 산화막 증착에 사용되는 고속 열처리장비인 RTP(Rapid Thermal Processing)시스템을 선보인다.

　슈테아그의 RTP장비 개발은 지난 97년 독일 슈테아그가 이 시스템 전문생산업체인 AST사를 인수한 데 따른 것으로 이번 전시회에 선보인 제품은 3백㎜ 웨이퍼용 「AST3000」과 2백㎜ 웨이퍼용 「AST2800」 등 두가지 모델이다.

　최대 0.18미크론 공정에까지 적용 가능한 이 장비는 순간 고열처리 및 균일한 열투사기능을 보유한 첨단 시스템으로 매초 섭씨 2백50도의 온도까지 순간 상승시킬 수 있는 고성능 RTP 제품이다.

　또한 작업 웨이퍼의 상태에 따라 가열 방법을 달리하는 첨단 온도 컨트롤기능을 보유했으며 한개의 로봇에 두개의 작업 체임버를 부착, 웨이퍼 처리능력과 생산 효율성을 극대화시킨 게 특징이다.

　특히 이 회사의 RTP시스템들은 미국 VLSI의 고객만족도 조사 중 전공정장비 부문에서 지난 3년간 연속 선두 자리를 고수하는 등 그 성능을 전세계적으로 인정받고 있으며 데이터퀘스트의 자료에 따르면 슈테아그는 지난 97년 RTP분야 세계시장 점유율에서 1위를 차지한 것으로 나타났다.

　이와 함께 슈테아그는 한개의 배스로 8인치 웨이퍼 50장을 한꺼번에 처리할 수 있는 단일배스방식 웨트스테이션 장비도 이번 전시회에 내놓았다.