<특집-세미콘코리아 99> 주요업체 출품작.. 한국DNS "DUV용 트랙장비"

　반도체 장비업체인 한국DNS는 64MD램 3세대 이상의 고집적 반도체 제조에 사용되는 DUV(Deep Ultra Violet) 노광공정용 트랙장비를 이번 행사에 출품한다.

　트랙장비는 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상해주는 일종의 코터(Coater) & 디벨로퍼(Developer) 설비로 대당 제품가격만도 20억원을 호가하는 전공정용 고부가가치 제품이다.

　특히 DUV용 트랙장비는 반도체 회로선폭의 미세화 추세와 함께 기존의 i라인용 광원 대신 불화크립톤(KrF) 엑시머레이저를 사용하는 DUV 노광공정이 본격 채택되면서 최근 그 수요가 폭발적으로 증가하고 있다.

　이런 가운데 한국DNS가 개발한 DUV용 트랙장비 「K-SPIN8」은 20Å(옹스트롬) 이내의 균일한 도포능력과 15나노미터(㎚)급의 초정밀 현상능력을 보유했으며 새로운 장비 설계기술의 도입으로 기존 제품에 비해 장비 설치면적을 40% 가량 줄였다.

　또한 노광후 오븐(PEB) 온도의 균일도와 웨이퍼 정체시간의 관리를 위해 별도의 스윙 암(Swing Arm)을 탑재했으며 사용자의 요구에 따라 스테퍼 및 웨트스테이션은 물론 웨이퍼의 불필요한 패턴을 제거시키는 WEE(Wafer Edge Exposure) 시스템 등과도 연결(In-Line)이 가능하다.

　이 회사는 올해부터 이 장비의 본격적인 양산에 착수, 트랙장비분야에서만 총 1천5백억원 이상의 매출을 올릴 계획이다.