고베제강소, 반도체 장비사업 참여

　일본 고베제강소가 반도체장비 분야에 진출한다.

　「일본경제신문」에 따르면 고베제강소는 최근 웨이퍼처리공정에서 배선막을 균일하게 형성하는 데 필요한 반도체 배선막용 고압열처리 장치를 개발, 내년 7월부터 본격 판매를 시작한다고 밝혔다.

　고베제강소는 현재 반도체 분야와 관련해 검사장비를 사업화하고 있으나 제조장비분야 진출은 이번이 처음이다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>