산자부, 초소형 정밀기계기술 개발 2단계 사업 실시

　산업자원부는 28일 오는 2001년까지 특정제품 또는 기술분야에서 세계일류의 기술력 확보를 위해 범부처적으로 추진하고 있는 선도기술개발사업 중 하나인 초소형정밀기계기술개발 2단계사업으로 계속과제 8개와 신규과제 17개 등 25개 과제를 확정하고 사업자 선정작업에 들어갔다고 밝혔다.

　이번에 선정된 2단계 과제 중 계속과제는 △집적화된 압력센서 개발 △초다심 광커넥터 개발 △옵티컬 마이크로 인코더(Optical Micro Encoder) 개발 △초소형 작동형 내시경 개발 △마이크로 미러 어레이(Micro Mirror Array) 개발 등 제품기술과제 5개와 △미세구조물제작(LIGA) 및 LIGA 유사기술 개발 △레이저빔 응용 가공기술개발 △에너지 변환 및 공급기술개발 등 기반기술과제 3개다.

　또 2단계 신규 과제는 △마이크로 자이로 개발 △고집적 HDD용 헤드 개발 △실리콘 가속도센서 개발 △실리콘 광송수신 모듈 개발 △정보통신용 초소형 고주파 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 부품 개발 △고해상도 잉크젯 헤드 개발 △적외선 이미지센서 어레이 개발 등 제품기술과제 7개, △압전자 진동자 원격무선감지 모듈 개발 △공기조화기용 초소형 확장장치 개발 △초소형 질량분석기의 제작기술 개발 △MEMS 마이크로 웨이브 신소자 기술 개발 △박막형 마이크로 전지의 제작 등 제품선행기술과제 5개, △밀봉형 다수기판 접합공정 및 패키징기술 개발 △MEMS 복합장 시뮬레이션 및 설계기술 개발 △통합 MEMS공정 기반기술 개발 △압전후막의 저온공정 및 응용기술 개발 △박막 미세구조물의 물성 분석 및 내구성 평가 등 기반기술과제 5개다.

<김병억 기자>