미 마이크론, 64M SD램 양산에 0.18미크론 미세가공기술 도입

　미국 마이크론 테크놀로지가 내년 1·4분기부터 64M SD램 생산에 0.18㎛ 미세가공기술을 도입한다.

　일본 「닛케이마이크로디바이스」에 따르면 마이크론은 최근 내년 1·4분기 중에 64M SD램 양산에 0.18㎛ 기술을 도입하는 한편 이 기간 중에 0.18㎛ 기술을 활용한 1백28M SD램의 양산도 개시할 방침이라고 밝혔다.

　이와 동시에 마이크론은 현재 0.21㎛급인 D램 미세가공기술을 내년 중에 0.18미크론으로 전면 전환하고 가능하면 내년 중에 0.15㎛ 기술도 일부 도입하는 방안을 검토하고 있는 것으로 알려졌다.

　마이크론의 최고경영자(CEO) 스티븐 애플리턴은 최근 일부 반도체업체와 제조장비업체에서 제기되고 있는 「0.18㎛ 양산체제 확립은 쉽지 않을 것」이라는 의견에 대해 『적어도 우리는 0.18㎛ 양산체제 확립에 특별한 어려움이 없다』며 자신감을 보였다.

<심규호 기자>