지난 94년 설립된 실리콘테크(대표 우영환)는 반도체용 케미컬 공급장치, 코터(Coater), 디벨로퍼(Developer), WEE(Wafer Edge Exposure)시스템 등과 같은 차세대 트랙장비용 핵심모듈을 국내 최초로 개발한 이 분야 전문 벤처기업이다.
이 회사가 개발한 트랙장비용 핵심모듈은 삼성전자, 현대전자 등의 국내 업체와 대만의 에이서, TSMC, MXIC, 뱅가드 등 해외 업체에 공급되고 있으며 최근에는 미국 트랙장비 업체인 FSI를 비롯해 SVG, 페어차일드 등과 같은 세계 유수의 반도체 장비 업체들과의 공급계약도 추진중이다.
트랙장비는 반도체 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상해주는 반도체 노광공정용 핵심장비로 대당 제품 가격이 20억원을 호가하는 고가장비.
이 가운데 실리콘테크가 개발, 수출하는 트랙장비용 핵심모듈은 코터, 디벨로퍼, 탈기시스템, 케미컬 공급 및 유량 감시장치, WEE시스템 등으로 트랙장비 제조시 전체 시스템의 성능을 좌우하는 핵심품목들이며 차세대 DUV 노광공정에까지 적용할 수 있는 첨단 제품이다.
이 회사가 단일장비가 아닌 핵심모듈부터 국산화한 데는 나름의 이유가 있다. 반도체 장비의 경우 핵심 모듈기술만 보유하고 있으며 필요시 전체 시스템을 제조하는 일은 그리 어려운 작업이 아니기 때문.
그래서 도쿄일렉트론과 같은 세계 최대 트랙장비 업체도 국내의 조그만 중소기업인 이 회사의 제품개발에 촉각을 곤두세우고 있는 실정이다.
이러한 실리콘테크의 핵심모듈의 개발은 곧바로 회사매출로 이어진다. 5백만달러 가량의 직수출 물량을 포함해 올해 이 회사 총매출 목표는 1백50억원 가량. 그리고 내년에는 2백억원대의 수준을 넘어 오는 2000년에는 3백억원 이상의 매출을 올릴 계획이다.
이와 관련, 실리콘테크의 우영환 사장은 『이같은 매출 예상은 최근의 IMF한파로 인한 국내 설비 투자비의 감소분을 충분히 고려한 수치며 만약 국내외 상황이 호전된다면 같은 기간 내에 7백억원 이상의 매출도 충분히 가능하다』는 자신감을 비쳤다.
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