레이저 MBE시스템 국산화

세라믹 등 소재를 대상으로 원자층 또는 분자층 단위로 한층씩 쌓아 올리며 박막을 만들 수 있는 첨단 레이저 MBE(Molecular Beam Epitaxy)시스템이 국내 처음으로 개발됐다.

한국표준과학연구원 양자연구부 초전도그룹 김인선 박사팀은 최근 펄스레이저 증착법을 응용해 기존 장치로는 거의 불가능한 세라믹 박막의 복잡한 조성을 유지하면서 완전한 이차원 박막으로 성장, 제어할 수 있는 레이저MBE시스템 개발에 성공했다고 30일 밝혔다.

MBE장치는 인공적으로 다른 물질을 한층씩 교대로 쌓아 인공격자를 만들어 반도체 신소재 및 소자개발에 널리 사용되는 장치다.

특히 레이저MBE장치는 녹는 온도가 매우 높고 화학적 조성이 매우 복잡한 세라믹 재료를 분자층 단위로 켜(층)쌓기가 가능한 기술을 개발할 수 있어 양자효과, 고온초전도 등과 함께 차세대 산화물IC개발에 크게 기여할 것으로 전망된다.

지난해에 일부 선진 연구그룹만이 상용화하기 시작한 레이저MBE시스템은 국내에서는 서울대, 포항공대, 한국전자통신연구원 등 개발에 나서고 있다.

김인선박사팀은 이 장치를 활용해 산화물의 인공격자를 제작하는 합성분야, 여러물성의 산화물을 대상으로 원자층을 제어하는 방법으로 기능성 전자소자를 제작할 예정이다.

<정창훈 기자>