창립 10주년 맞은 "포항가속기硏"

반도체의 X선노광 기술이나 전자부품 등 초미세 가공기술을 비롯한 기초 및 응용과학연구를 뒷받침하고 있는 포항공대부설 포항가속기연구소가 1일로 창립 10주년을 맞았다.

범국가적인 대형 연구시설인 방사광가속기를 보유하고 있는 포항가속기연구소는 이날 오후 저장링에서 연구원 및 교직원등 2백여명이 참석한 가운데 기념식을 가졌다. 국내 단일 과학시설로는 최대규모인 방사광가속기는 과기부와 포항제철이 총1천5백억원을 투입해 지난 94년 12월 에 완공,국내 과학기술자들에게 개방된 이후 지금까지 총 2백26건의 연구과제를 수행해왔다.

방사광가속기를 이용한 대료적인 연구로는 LG반도체가 0.1미크론이하의 X선 노광기술과 4기D램용 차세대 상보성 금속산화막(CMOS)소자 제조공정에 성공한 것을 비롯,전자부품연구소의 초미세가공기술개발등 방사광가속기가 국가공동연구시설로 큰 역할을 하고 있다.

현재 포항가속기연구소에는 X선과 자외선을 동시에 발생시킬 수 있는 20억 전자볼트급을 포함, 8기의 빔라인이 있는데 이중 1기는 LG반도체가 30억원을 투자, 95년에 준공해 가동중이며 1기는 광주과학기술원이 금호그룹의 협찬으로 12억원을 투입,지난해 말 완공해 반도체 박막구조 및 생체고분자 연구등에 이용할 계획이다. 특히 올해 과기부로 부터 1백39억원의 예산을 지원받아 신규착공분을 포함, 총 7기가 건설중에 있으며 이중 1∼2기의 완공을 목표로 하고 있다.

<정창훈 기자>