AMK, 웨이퍼 검사장비 2종 공급

어플라이드머티리얼즈코리아(대표 이영일)는 반도체 웨이퍼의 패턴 결함을 고감도로 검출할 수 있는 웨이퍼 검사장비 「WF-736DUO」와 「WF-731」등 2개 제품을 국내 공급한다.

이번에 출시된 제품은 공정개발 초기 단계에서부터 양산에 이르는 모든 과정의 웨이퍼 결함 검사에 사용될 수 있으며 화학, 기계적연마(CMP) 및 첨단 배선 구조 등과 같은 차세대 애플리케이션에도 적용 가능하다. 또한 이 장비는 동일한 구조와 운용체계에서 검사 작업을 수행함으로써 가장 진보된 PDI(Perspective Darkfield Imaging) 검출 기능을 구현함과 동시에 전체 공정 요소들을 통합, 장비간 검사 데이터 교환이 가능하다.

<주상돈 기자>