일본진공기술, 자기헤드용 스퍼터링장비 개발

일본진공기술은 거대자기저항(GMR)헤드 등 자기헤드의 대용량화추세에 대응한 전용 스퍼터링장비를 개발하고 본격 출시했다고 「日本經濟新聞」이 보도했다.

이 신문에 따르면 이 스퍼터링장비는 일본진공기술의 독자적인 「헬리콘 스퍼터 캐소드」기술을 사용해 개발한 것으로 금속成膜의 품질을 향상시키고 장비를 소형화한 것이 특징이다.

일본진공기술은 이 초진공 스퍼터기술을 사용해 금속입자를 성막가공하는데 필요한 캐소드의 구경을 기존의 3백㎜에서 1백25㎜까지 소형화해 장비의 크기를 절반으로 축소했다고 밝혔다.

이 회사는 또 PC등에 장착되는 하드디스크드라이브(HDD)에 사용되는 재생용 자기헤드의 대용량화에 맞춰 개발한 이 양산장비를 시판 첫해인 올해 10대를 공급할 계획이다.

<주문정 기자>