요업기술원, 반도체생산공정용 탄화규소 주입성형기술 개발

국립기술품질원 산하 요업기술원의 김인섭 박사팀은 최근 반응소결 탄화규소 세라믹스 제조를 위한 탄화규소카본블랙 혼합물의 주입성형 기술을 국내처음으로 개발했다고 27일 발표했다.

반응소결 탄화규소 세라믹스는 일반 금속재료보다 내마모성과 내침식성, 열전도성 등이 뛰어나 각종 기계구조 재료에 널리 활용되는 것으로 개발팀은 이번 기술개발로 반도체 공정장비의 각종 부품과 각종 내마모성 부품의 국산화가 기대된다고 밝혔다.

<김성욱 기자>