메트론코리아, 반도체 공정용 자동 ID시스템 공급

웨이퍼 캐리어 공급 업체 메트론코리아(대표 최형남)가 각종 웨이퍼 용기에 기존 바코드 대신 초소형 고주파 발생기(Microtag)를 부착, 웨이퍼의 이동을 무선으로 감지할 수 있게 하는 반도체 공정용 자동 ID시스템 「FluoroTrac」을 이달부터 본격 공급한다.

마이크로태그와 안테나, 그리고 마이크로터미널 및 마스터 컨터롤러로 구성된 이 제품은 134.2 Khz의 고주파를 이용해 각각의 웨이퍼 캐리어에 고유 ID를 부여함으로써 기존 바코드 사용에 따른 오동작 및 인식 불능의 우려가 없다.

반도체 제조 공정의 완전 자동화를 목표로 설계된 이 제품은 제조 공정에 따른 각종 작업 정보의 저장과 분석 기능은 물론 에러 발생에 대비한 경보 기능도 제공한다.

<주상돈 기자>