반도체업계, 국부 클린룸 시스템 도입 가시화

2백56MD램 이상의 차세대 반도체용 제조 설비인 국부 클린룸의 도입 및 공급이 가시화되고 있다.

8일 관련 기관 및 업계에 따르면 아남산업, 삼성전자, 현대전자 등 국내 주요 소자 업체들은 최근 반도체 생산비의 절감과 2백56MD램 이상의 고집적 반도체 시대에 대비,국부 클린룸 체제를 구축하기 위한 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템의 도입을 구체화하고 있다.

이에 따라 신성이엔지, 정일ENC 등 국내 클린룸 설비 업체들은 물론 한양기공, 피케이, 한택 등 주요 반도체 장비 업체들 또한 소자업체들의 이같은 움직임에 발맞춰 SMIF 시스템관련 각종 설비 및 장비 개발에 적극 나서고 있다.

SMIF 시스템은 전체 클린룸 시설 중 노광 및 에칭 등 특정 필요 부분만 클래스 1 이하의 초청정 상태를 만들어 클린룸 설치 효율을 극대화시키는 차세대 국부 클린룸 구현을 위한 자동화, 인터페이스 시스템이다.

이같은 국부 클린룸 설비의 도입이 국내에서도 본격화되고 있는 것은 현재 주종을 이루는 FFU(Fan Filter Unit) 및 시스템 셀링 방식이 과다한 동력 소모와 잔존 가스 및 미세 진동으로 인한 파티클 발생의 위험이 높아 2백56MD램 이상 차세대 반도체 제조에는 부적합한 것으로 지적되고 있기 때문이다.

아남산업은 오는 9월 본격 가동 예정인 부천 생산라인에 SMIF시스템을 구축키로 방침을 정하고 현재 인팝社의 천정 공간을 이용한 시스템과 MNW社의 바닥을 이용하는 시스템 등 독일의 2개 업체 시스템에 대한 기술적 검토를 진행중인 것으로 알려졌다. 입팝社의 SMIF 시스템 관련 각종 자동화 설비는 그동안 포토마스크 등 반도체 재료시장에 주력해온 피케이가 최근 이 시스템 사업에 참여했으며 MNW는 자체 한국 지사를 통해 이 사업을 추진중이다. 이와는 별도로 웨이퍼 소트 전문업체인 한택은 아남의 개발 요구에 따라 SMIF시스템용 웨이퍼 소터를 현재 개발중인 것으로 알려졌다.

국내 클린룸 설비업체인 신성이엔지와 장비업체인 한양기공은 SMIF시스템 사업 추진을 위해 미국 어시스트社와 합작으로 「아시스트코리아」를 지난해 설립,삼성전자 등을 통해 이 시스템의 공급을 적극 추진중인 것으로 알려졌다.

현재 미국 맥스터 공장의 하드디스크 생산라인을 통해 국부 클린룸 시스템을 시험 가동중인 현대전자는 향후 결과에 따라 반도체 생산 라인에까지 이를 확대적용시켜 나갈 방침이다.

SMIF 시스템 관련업체의 한 관계자는 『최근 반도체 사업에 신규 진출한 대만,싱가포르 등 동남아지역 업체들은 이미 국부 클린룸 설비를 본격적으로 도입하고 있다』고 밝히고 『클린룸 설치 및 가동 비용이 전체 반도체 생산비의 10% 이상을 차지한다는 점을 고려할 때 국내 업체들의 효율적이면서도 경제적인 SMIF 시스템 도입은 앞으로 줄을 이을 것』으로 전망했다.

<주상돈 기자>