美 브룩스, 클러스터툴용 로봇 국내 공급 본격화

반도체 전공장비의 핵심장치인 클러스터툴用 로봇의 국내 공급이 용이해질전망이다.

반도체용 로봇전문업체인 美브룩스社는 한국시장이 전공정장비의 생산확대로 수요가 크게 늘 것으로 보고 최근 현지법인인 「브룩스오토메이션코리아」를 설립하고 초대 사장에 SEMI코리아와 슐럼버저코리아 지사장을 지낸 바 있는 김창호씨를 내정했다고 31일 밝혔다.

브룩스는 앞으로 로봇과 함께 소프트웨어를 묶어 OEM공급은 물론 스톡세일을 강화해 램,지너스,청송,주성 등 CVD, 에처 등 E클러스터툴을 이용한 전공정장비 생산업체에 주력공급하고 2∼3년 내에 수원 인근에 공장을 마련 국내생산도 추진할 계획이다.

로봇은 CVD,에쳐,퍼니스 등 전공정장비을 구성하는 클러스터툴을 작동시키는 핵심장치로 그간 전량 수입에 의존해왔다. 브루스는 美보스톤에 본사를 둔 반도체용 로봇 전문업체로 지난해 9천만달러의 매출을 올렸다.

<김경묵 기자>