[확대경] 日도시바세라믹스, 하이웨이퍼로 시장 확대 노린다

일본 도시바세라믹스가 도시바와 공동개발한 고품질 실리콘웨이퍼 「하이웨이퍼」로 웨이퍼시장 점유율 확대를 노리고 있다.

차세대 64MD램이 주력반도체로 자리를 잡아가면서, 반도체업체들은 차세대 D램의 재료로 주류를 이룰 것으로 보이는 고품질웨이퍼에 높은 관심을 보이기 시작했다.

현재 고품질웨이퍼의 대표적인 제품은 에피텍셜웨이퍼로, 웨이퍼분야의 상위업체인 신에츠반도체와 미쓰비시머티리얼 등이 시장확대를 위해 노력하고 있다.

도시바세라믹스의 하이웨이퍼도 이와 비슷한 종류의 고품질웨이퍼로, 에피텍셜웨이퍼에 비해 품질은 다소 떨어지지만 가격이 저렴하다는 장점을 가지고 있다. 따라서 메모리시장상황의 악화로 단가절감에 혈안이 돼 있는 현재의 반도체업체 공략에는 에피텍셜웨이퍼보다 하이웨이퍼가 유리하다고 볼 수 있다.

하이웨이퍼는 지난 93년 도시바세라믹스가 생산을 시작해 도시바그룹내에서 소비해 오다가 최근 판매처를 점차 그룹 밖으로 확대하고 있다.

도시바세라믹스에 따르면 웨이퍼 총매출 가운데 하이웨이퍼가 차지하는 비율은 94년 43%, 지난해 44%를 기록한데 이어, 올해에는 50%를 넘어섰다고 한다.

최근 반도체업체들이 D램의 양산규모를 줄이고 있음에도 불구하고, 도시바세라믹스는 주력제품인 8인치웨이퍼의 매출이 소폭이나마 증가한 것으로 나타났다. 「이같은 매출증가에는 하이웨이퍼의 역할이 절대적」이었다고 도시바 측은 보고 있다.

하이웨이퍼는 일반웨이퍼를 수소가스 속에서 열처리하여 결정결함의 원인이 되는 수소를 표면에서 제거하는 방법으로 제조된다. 따라서 이 웨이퍼를 사용하면 원료에 대한 제품비율이 일반웨이퍼를 사용할 경우보다 높아진다. 16MD램을 생산할 경우 5%정도가 높아지며, 64MD램 및 2백56MD램의 경우에는 이보다 더욱 증가하게 된다.

그러나 원료에 대한 제품비 증가의 장애가 되는 결정결함은 하이웨이퍼보다 에피텍셜웨이퍼쪽이 더 적게 가지고 있다. 즉 품질면에서는 에피텍셜이 상위인 것이다.

한편 하이웨이퍼의 경쟁력인 가격은, 에피텍셜이 일반웨이퍼보다 70-80% 높은데 비해 하이웨이퍼는 30%정도 높은 수준이다.

따라서 하이웨이퍼는 일반웨이퍼와 에피텍셜의 틈새시장을 겨냥한 제품이라고 볼 수 있다. 도시바세라믹스 관계자는 『국내 반도체업체들 뿐아니라 미국, 유럽 등지 업체로부터 거래요청이 잇따르고 있다』며 이 사업에 대해 자신감을 나타내고 있다.

하이웨이퍼는 현재 도시바세라믹스 뿐 아니라 이 회사로 부터 제조기술을 라이선스제공 받은 고마쓰전자금속이 지난 94년부터 양산을 시작한 상태이다. 또 국제電氣 등을 비롯한 반도체제조장비업체가 도시바세라믹스의 하이웨이퍼와 유사한 고품질웨이퍼 제조에 사용하는 장비를 개발하는 등 업계에서 하이웨이퍼에 대한 관심이 높아지고 있다.

도시바세라믹스는 선두주자로서의 입지를 확고히 하기 위해 액정결함을 한층 줄인 하이웨이퍼 기술개발에 박차를 가하고 있다.

하이웨이퍼를 비롯한 고품질웨이퍼는 98년부터 본격화될 전망인 64MD램시대에 그 진가를 발휘하게 될 것으로 보인다.

64MD램시대 이후에는 더욱 정밀한 미세가공을 필요로 하기 때문에 반도체의 재료가 되는 웨이퍼도 더욱 섬세한 제품이 요구된다. 따라서 그 만큼 고품질웨이퍼의 수요가 높아질 것이 분명하다.

그러나 신에츠반도체, 미쓰비시머티리얼 등 상위업체들이 주력하고 있는 에피텍셜에 대항하여 하이웨이퍼가 시장을 넓혀 나갈수 있을 지는 아직 미지수다. 현재로서는 하이웨이퍼의 가격이 에피텍셜에 비해 상대적으로 낮다는 점이 에피텍셜과 일반웨이퍼의 틈새시장을 노리고 있는 하이웨이퍼의 유일한 무기이다.

그러나 최근 미쓰비시머티리얼이 미국과 일본에서 증산을 계획하는 등, 각 업체들이 엑피텍셜 양산체제확립에 박차를 가하고 있는 만큼 가격차가 좁아질 가능성도 매우 높다.

따라서 도시바세라믹스로서는 하이웨이퍼의 가격경쟁력이 우위를 차지하고 있는 동안에 에피텍셜과의 품질 차이를 줄여나갈 수 있을 것인가에 이 사업의 성패가 달려 있다고 볼 수 있다.

<심규호 기자>