한, 일 플라즈마.박막기술 심포지엄 폐막

한국표면공학회와 일본표면기술협회 공동 주최로 지난 11, 12일 이틀간 과천 국립기술품질원에서 열린 한, 일 플라즈마, 박막기술 심포지엄이 성황리에 폐막됐다.

올해로 두번째를 맞는 이번 심포지엄에는 반도체공정의 핵심기술인 플라즈마, 박막기술공정, 플라즈마, 박막기술응용, 표면분석 및 초미세 가공공정 등 3개의 주제에 대해 한국 56편, 일본 59편의 논문이 발표됐으며 한, 일의 학계 및 업계전문가 2백여명이 참석했다.

특히 이동녕 박사(서울대)의 「진공증착막의 미세구조와 표면현상」, 제정호 박사(포항제철 연구소)의 「실시간 싱크로트론 스케팅법으로 관찰한 박막의 우선배향」, 야수다 박사(나고야대)의 「실리콘 표면에서의 막 성장과 표면반응」 등에 관심이 모아졌다.

한국표면공학회 강성군 회장(한양대)은 『박막장비 및 공정기술의 낙후성, 영세성에 따른 투자부족, 반도체 대기업들의 박막 재료, 장비의 전량 수입의존 등으로 인해 국내 박막관련 기반기술이 취약한 실정』이라며 『이번 세미나에서 박막 및 플라즈마에 관해 우위를 보이고 있는 일본의 가공, 분석기술이 대거 소개돼 국내 기술발전에 적지않은 도움이 될 것』으로 평가했다.

〈강병준 기자〉