표준연, 노점계 성능검사장비 개발

기체에 포함돼 있는 수분측정 장치인 노점계 성능검사 장비가 개발됐다. 한국표준과학연구원(원장 정명세) 습도연구그룹(그룹장 남현수)은 극미량의수분을 발생시켜 노점계 등의 검, 교정에 황용될 수 있는 장치를 개발했다고22일 발표했다.

노점계는 반도체 제조공정 등 첨단산업에서 일반 습도계가 측정 불가능한낮은 농도의 수분측정까지 가능한 장비로서 그동안 국내에서는 관련장비가없어 노점계의 검, 교정 업무를 모두 외국에 의뢰해 왔다. 이번에 남현수팀이 개발한 검, 교정 장치는 노점온도가 섭씨 -70∼-5도 범위에서 0.15도의오차까지 측정할 수 있으며 온도가 -70도일 때 공기분자 1백만개 당 3개의물분자를 측정할 수 있는 등 성능이 우수, 선진국 제품에 비해 손색이 없다는 평가를 받고 있다.

<서기선기자>