日 슈퍼실리콘硏, 美 웨이퍼 전처리장비 도입

4백밀리(16인치)웨이퍼 프로젝트를 추진하고 있는 일본의 산·관공동연구기관인 슈퍼실리콘연구소(SSi)가 미국산 웨이퍼 전처리장비를 도입키로 결정했다.

일본 「日刊工業新聞」의 최근 보도에 따르면 SSi는 美 무어 에피택셜社의일본 총대리점인 근제産業을 통해, 16인치웨이퍼개발에 필요한 에피택셜(Epitaxial)성장장치를 구입할 예정이다.

이 장치는 2백밀리(8인치)웨이퍼를 한번에 3장처리할 수 있는 특징이 있다.

16인치웨이퍼는 오는 2005년께 주류를 이룰 것으로 예상되는 반도체웨이퍼규격의 하나로, SSi는 이 웨이퍼의 실용화를 위해 일본의 기반기술연구촉진센터와 7개웨이퍼업체들이 공동설립한 연구개발기구이다.

<심규호 기자>