한국베리안, 반막증착기 생산

반도체장비업체인 한국베리안(대표 서성기)이 그동안 수입판매해오던 양산용 박막증착기를 국내에서 조립, 생산한다.

한국베리안은 오는 9월부터는 국내에서 처음으로 조립생산한 박막증착기를반도체업체들에게 공급할 계획이며 본격적인 조립생산을 위해 오는 8월초 완공을 목표로 지난달부터 경기도 송탄공장의 증축작업에 들어갔다.

한국베리안이 국내에서 본격 생산할 박막증착기는 미국 베리안사가 기존 M20 00시리즈의 후속모델로 개발한 신제품인 "MB2"및 "M2i" 등 2종으로 64및 2백56MD램 생산에 사용되는 차세대반도체장비다.

한국베리안은 이들 제품의 초기개발시부터 합작개발을 추진、 핵심부품인 리 플로어 모듈의 독자개발에 성공한 바 있으며 향후 주요핵심부품의 국산화도지속적으로 추진할 계획이다. <이경동 기자>