에코프로에이치엔이 삼성E&A에 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS)을 공급한다고 27일 밝혔다. 이번 계약은 330억원 규모로, 공급된 설비는 국내 반도체사에 도입될 예정이다.
RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다. PFCs는 이산화탄소(CO2) 대비 수천~수만 배 이상 높은 지구온난화지수(GWP)를 지니고 있어, 반도체 제조 현장에서 반드시 해결해야 할 핵심 환경 과제로 꼽힌다.
기존 열분해 처리 시스템은 온실가스 저감을 위해 1300~1400℃ 수준의 초고온 공정이 필요했지만, 에코프로에이치엔의 RCS는 약 750~800℃ 수준에서 온실가스를 분해할 수 있어 에너지 사용량을 약 95% 절감할 수 있다.
회사 측은 국내 반도체사로부터 에코프로에이치엔의 RCS 설비의 우수성을 재확인받아 사업 연속성을 확보한다는 것에 의미를 찾았다. 아울러 반도체 메가 프로젝트 등 대규모 첨단 산업단지 조성과 맞물려 향후 사업 확대도 기대했다.
에코프로에이치엔 관계자는 “앞으로도 차별화된 기술을 바탕으로 국내는 물론 글로벌 반도체 시장으로 고객사를 다변화해 나갈 것”이라고 밝혔다.
김명희 기자 noprint@etnews.com
