세메스는 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너 '오메가 프라임'이 고객사 품질 테스트를 통과했다고 7일 밝혔다.
스피너(Spiner)는 웨이퍼 표면에 얇고 균일한 코팅을 형성하기 위해 회전력을 이용하는 장비다. 웨이퍼에 미세회로를 형성하기 위한 감광액, 노광기에서 빛을 조사한 후 필요한 현상액 등을 골고루 도포하는 데 사용된다.
스피너는 현재 일본 T사가 시장점유율 90% 이상을 차지하며 사실상 독점하고 있다. 국내업체로는 세메스가 유일하게 KrF 스피너를 비롯해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 생산해왔다.
회사는 이번에 개발한 차세대 KrF 스피너 오메가 프라임 설비가 WLPAD(Word Line Pad) 공정에 대응이 가능하며, 시간당 웨이퍼 처리능력도 20% 이상 개선됐다고 강조했다.
장세연 세메스 포토팀장은 “오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 기대한다”며 “앞으로도 고부가가치 중심의 차별화된 설비를 선보일 것”이라고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
