하이비젼시스템이 라온텍과 반도체 웨이퍼 후공정 자동광학검사(AOI) 장비에 대한 공급 계약을 체결했다고 24일 밝혔다. 이 장비는 증강현실(AR) 글라스용 마이크로 디스플레이 반도체 웨이퍼 검사를 위해 사용될 예정이다.
반도체 웨이퍼 AOI 장비는 반도체 제조 후공정단에서 웨이퍼 이물, 얼룩, 오염, 스크래치, 변색, 부식 등 다양한 검사를 수행하는 장비다. 메모리 반도체 산업뿐만 아니라 이미지센서, 디스플레이 등을 비롯한 다양한 비메모리 반도체 산업 영역에서 사용할 수 있다.
하이비젼시스템이 신사업 진출을 위해 최근 수년 간 반도체 웨이퍼 AOI 장비를 개발해왔다. 회사는 자사 AOI 장비가 반도체 웨이퍼에 대한 0.5마이크로미크론(μμ) 단위 검사를 고속으로 정밀하게 수행할 수 있다고 설명했다.
최두원 하이비젼시스템 대표는 “향후 국내외 시장 대부분을 점유하고 있는 외산 반도체 웨이퍼 AOI 장비 영역의 본격적인 진출을 위해 적극적인 영업을 전개해 나갈 것“이라고 말했다.
김영호 기자 lloydmind@etnews.com