파크시스템스, 웨이퍼 표면 측정분석 '원자현미경' 기증
부산대, 산학협력 기반 반도체 R&D와 전문인력 양성
부산대(총장 차정인)와 파크시스템스(대표 박상일)는 13일 부산대에서 '반도체 산학협력 활성화 협약'을 체결하고 반도체 분야 연구개발(R&D)과 전문인력 양성에 협력하기로 했다.
이날 파크시스템스는 자체 개발한 6인치 반도체 웨이퍼용 원자현미경 1대(3억원 상당)를 부산대 공대에 기증했다.
부산대 공대는 이 원자현미경을 학부 및 대학원 반도체 연구·교육 장비로 활용한다. 반도체 R&D와 교육, 인력양성 과정을 고도화해 국가 반도체 산업 발전에 기여하고 부산 차량용 반도체 육성 정책을 선도한다.
박상일 대표는 “기증 장비가 부산대 반도체 교육과 연구 증진에 보탬이 되길 바란다. 반도체 R&D와 인력양성 측면에서 산학협력 모범 사례를 만들고 싶다”고 말했다.
차정인 총장은 “파크시스템스 기증 장비는 반도체 R&D 기반이 되는 측정·분석은 물론 첨단 소재·부품·소자 연구에도 활용할 수 있다”며 “부산대 반도체 인력양성과 R&D에 큰 도움이 될 것”이라고 말했다.
파크시스템스는 원자현미경을 비롯한 첨단 나노계측장비 전문기업이다. 원자현미경은 반도체 기판 미세화 공정 확대로 그 수요가 계속 높아지고 있는 장비다. 제품이나 샘플 훼손이 없는 계측 기술과 장비를 기반으로 반도체 공정뿐 아니라 디스플레이 패널 공정, 학계 연구용 시장에서 산업용으로 사업을 확대하고 있다.
부산=임동식기자 dslim@etnews.com
