신성이엔지는 오는 7일까지 서울 코엑스에서 열리는 '제24회 반도체 대전(SEDEX 2022)'에 참가해 주요 클린룸 장비를 선보인다고 5일 밝혔다.
신성이엔지는 국내 최초 국산화한 팬필터유닛(FFU) 외에 △기류 연동 시스템 △휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) △파티클 가시화 시스템 등을 공개한다.
V-master는 휘발성유기화합물(VOCs) 제거 장비로 신성이엔지가 2005년 국내 최초 개발했다. 로터를 이용해 공장 및 클린룸 내 VOCs를 95% 이상 제거한다. 반도체·디스플레이 등 초정밀 첨단산업 제조 환경에 잔존하는 유해물질을 제거한다.
기류 연동 시스템은 클린룸 상부·측면에 설치돼 장비 내부 압력을 유지하고, 청정한 공기를 공급한다.
파티클 가시화 시스템은 반도체 공정 중 불량을 발생시키는 파티클(먼지)를 가시화해 오염 원인을 파악하고, 해결책을 도출하는데 사용된다.
신성이엔지 관계자는 “당사는 1980년대 국내 반도체 산업이 태동하던 시기 클린룸 국산화를 성공시키며 관련 산업 성장에 밑거름 역할을 했다”면서 “끊임없는 연구로 이차전지 제조 공간인 드라이룸도 개발하는 등 반도체를 넘어 첨단산업 환경 전반을 개선하는 것을 목표할 것”이라고 말했다.
류태웅기자 bigheroryu@etnews.com
