나노·반도체 R&D 생태계 디지털화...반도체 공정 수준 끌어올린다

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인공지능(AI)·데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스 개요도 사진=과기정통부

정부가 첨단 반도체 공정 디지털화를 통해 나노팹 스마트 운영 서비스를 구축한다.

과학기술정보통신부는 20일 나노종합기술원에서 공공 나노팹 운영 혁신 자문위원회를 열고 올해 신규사업으로 '인공지능(AI)·데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스' 구축을 추진한다고 밝혔다.

이번 사업은 공공 나노팹이 데이터 기반 고도화된 공정서비스를 제공하도록 나노팹 공정데이터의 체계적이고 지속 가능한 활용 기반을 갖추는 사업이다.

나노종합기술원 등 공공 나노팹에는 매년 수만 건 규모 나노·반도체 분야 공정서비스를 지원하는 시설이 있으나, 서비스 데이터를 축적해 활용할 수 있는 기반이 없어 공정 경험을 축적하고 활용하는 체계적 서비스 운영에 한계가 있었다.

과기정통부는 이번 사업을 통해 개별 장비 단위로 운영인력 경험과 실력에 좌우되던 공정 및 장비 데이터를 빅데이터화 하고, 장비 간 데이터를 유기적으로 연계하는 등 AI 기반 나노팹 스마트 운영 서비스를 구축한다.

이를 통해 연구기관과 기업에 제공하는 나노팹 공정서비스 수준을 획기적으로 제고하고 연구개발(R&D) 소요 시간을 크게 줄일 계획이다.

과기정통부는 이번 사업을 통해 그동안 데이터 부재로 어려움을 겪었던 나노·반도체 기업과 연구기관에 품질·설계 검증, 성능검증 등에 활용할 필요 데이터를 제공함으로써, 나노·반도체 분야 연구개발 생태계 디지털화와 산업화 촉진에 이바지할 것으로 전망하고 있다.

이창윤 과기정통부 기초원천연구정책관은 “이번 사업은 반도체 공정 등에 데이터와 AI를 적용하여 연구성과를 창출하는 혁신적이고 의미 있는 사례가 될 것”이라며 “국가 나노인프라기관에 적용을 확대함으로써 산·학·연 반도체 공정개발에 크게 기여할 것으로 기대한다”고 말했다.


이인희기자 leeih@etnews.com


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