네덜란드 노광 장비 업체 ASML 독일 베를린 공장에서 화재가 발생했다.
ASML은 반도체 미세공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비를 생산하는 업체다.
반도체 업계에선 이번 화재로 EUV 장비 납품 시간이 길어질 수 있다고 우려한다.
6일 업계에 따르면 ASML의 EUV 부품을 생산하는 베를리너 글라스 공장에서 3일(현지시간) 화재가 일어났다. 생산 건물 한 동의 일부에서 화재가 발생했고 연기가 인접 건물에 부분적으로 영향을 미친 것으로 알려졌다.
회사 관계자는 “해당 건물 일부에서 생산이 이미 재개된 상태”라면서 “다른 건물은 화재 피해 없이 모두 정상가동 중”이라고 밝혔다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
