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반도체 클린룸 고성능 필터도 국산화 성공

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국내 부품·소재 전문기업이 반도체 클린룸 고성능 필터 개발에 성공했다. 8일 전남 영광군 코멤텍에서 직원들이 확장형 폴리테트라 플루오로에틸렌(ePTFE) 분리막(멤브레인) 기반의 고성능 헤파(HEPA)·울파(ULPA) 필터를 살펴보고 있다.


이동근기자 foto@etnews.com

반도체클린룸필터

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