일본에서 수입하고 있는 반도체·디스플레이 제조 장치용 코팅 소재를 스타트업과 중소 기업이 협력해 국산화했다.
세라믹 분말 제조 스타트업 씬택(대표 이충환)은 이에스티사와 함께 OLED 디스플레이와 반도체 제조장치인 정전척(ESC)과 부품의 내구성과 내식성을 높이기 위한 세라믹 코팅 소재 'HD' 와 'HY'를 개발했다고 25일 밝혔다.
코팅 소재는 반도체 생산 공정 장비의 내열성과 내구성을 향상하기 위해 필요하다.
그러나 그동안 일본산 소재에 의존해왔다. 상용된 일본산 제품은 내전압이 3㎸ 이하에 불과하고 이를 보완하기 위한 별도의 실링 공정이 필요하다.
씬택이 개발한 'HD'는 세라믹 복합물로, 일본 소재를 적용한 코팅과 대비해 절연 파괴 전압이 3배 이상 높으면서 치밀도가 95% 이상인 코팅막을 균일하게 형성하도록 도와준다.
이를 통해 반도체 제조공정의 수율을 높이고, 제조 원가를 절감할 수 있다.
기업들은 부품 보호를 위해 일본산 Y2O3 코팅 소재에 의존하고 있지만 파티클 발생으로 생산성 저하 문제를 겪고 있다.
부품용 소재 'HY'는 식각·세정 과정에서 CF·CL계 가스에 의한 부식으로부터 부품을 보호해준다. 소결성이 일본 소재보다 뛰어나고 화학적 안전성이 높아 부품을 온전하게 보호하면서도 파티클 발생율을 현저하게 낮춰줄 수 있다.
씬택은 코팅업체와 협력해 실제 반도체 장비에 적용, 품질과 신뢰성을 검증하기 위한 테스트를 준비하고 있다. 이 결과가 나오면 국내 일부 반도체 대기업에도 적용할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 핵심기술의 권리 보호를 위해 국내 특허 출원도 완료했다.
이충환 대표는 “기술개발을 완료하고 판매처를 확보했기 때문에 앞으로 제품 생산을 위한 공장을 설립할 것”이라면서 “장비 인프라 구축을 위한 투자 유치에 적극적으로 나설 계획”이라고 말했다.
충청=강우성기자 kws9240@etnews.com
